SCIENTIFIC RESEARCH
科研
射頻
射頻
CCP（電容性耦合的等離子體源）刻蝕機可覆蓋65nm到5nm及更先進制程的邏輯芯片。
ICP（電感性耦合的等離子體源）刻蝕機則涵蓋14nm到5nm制程。
進一步了解東能
感受東能助力工業科技轉型 暢導能源產業綠色發展
東能(沈陽)能源工程技術有限公司
數字賦能 工業互聯
聯系信息
總部地址：遼寧省沈陽市沈河區文藝路26號萬科中心35F
實驗室地址：遼寧省沈陽市和平區三好街84-8號KY-12
一工廠地址：遼寧省沈陽市渾南區聯東U谷渾南高新裝備產業園34-2
鞍山分公司地址：遼寧省鞍山市鐵東區萬科東源大廈1207